所屬分類：快速退火爐
RTP-DTS-8全自動(dòng)雙腔快速退火爐是在保護(hù)氣氛下的全自動(dòng)立式快速退火系統(tǒng)，以紅外可見光加熱單片 Wafer或樣品，工藝時(shí)間短，控溫精度高，適用6寸8寸片快速熱退火制程。
RTP-DTS-8全自動(dòng)雙腔快速退火爐是在保護(hù)氣氛下的全自動(dòng)立式快速退火系統(tǒng)，以紅外可見光加熱單片 Wafer或樣品，工藝時(shí)間短，控溫精度高，適用6寸8寸片快速熱退火制程。相對(duì)于傳統(tǒng)擴(kuò)散爐退火系統(tǒng)和其他RTP系統(tǒng)，其獨(dú)特的腔體設(shè)計(jì)、先進(jìn)的溫度控制技術(shù)和獨(dú)有的RL900軟件控制系統(tǒng)，確保了極好的熱均勻性。
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